电子/声波显微镜

       扫描电子显微镜

       仪器中心配置有两台日本Hitachi冷场发射扫描电子显微镜，主要应用为形貌观察，元素的定性和半定量分析，可以进行样品表面形貌的二次电子像、背散射电子像观察及能谱分析，并配有减速模式。

       透射电子显微镜

       球差校正透射电镜配备STEM球差校正器，TEM点分辨率为0.19nm，可以获取选区电子衍射花样、TEM高分辨等图像； STEM分辨率为80pm，可以获取STEM原子像，包括高角环形暗场像和明场像，清楚看到晶体材料内部的原子占位信息。搭配的能谱仪能量分辨率为133eV，可获取材料内的元素分布和含量等信息。可用于纳米固态材料微区形貌和内部晶体结构的原子分辨率精确分析。

        原子力显微镜

       超高真空原子力扫描探针系统通过对测量环境的严格控制（本底真空优于1*10-10mbar）以及对样品及探针的冷却（低于5K）可有效降低背景气氛以及热噪声对于测量结果的影响。可以得到样品表面原子分辨率的结构信息，并可直接观测单个分子及其分子间的键合力，为分子键的形成和断裂提供证据。

       声波显微镜

       利用波的折射及反射原理，检验产品内部是否有裂痕、分层、气泡等缺陷。为产品或材料在无损的情形下进行内部缺陷的查找，或对材料内部均匀性进行判别，广泛 应用于实验室的新材料开发研究工作，以及半导体工厂的大规模生产的产品在线检验。